绿碳化硅(SiC)GC4000#抛光粉(D50≈3.5μm)凭借其超高硬度、精密粒度分布及化学稳定性,成为电子光纤玻璃(如石英光纤、光学透镜、半导体晶圆)高效抛光的理想材料。以下从五大核心性能展开分析:
莫氏硬度9.5:仅次于金刚石,可高效切削玻璃表面微观凸起,减少抛光时间。
耐磨性:显微硬度达2800~3300kg/mm²,寿命是氧化铝抛光粉的3倍以上,适合长期连续加工。
应用优势:
光纤端面抛光后表面粗糙度Ra≤0.01μm,满足5G通信低信号损耗要求。
减少频繁更换磨料导致的停机成本。
精密分级(GC4000#):D90/D10≤1.5,避免大颗粒划伤或小颗粒抛光不足的问题。
悬浮稳定性:纳米级分散技术确保抛光液中颗粒不沉降,提升加工一致性。
应用优势:
光纤连接器(如FC/PC端面)抛光后无“彗差”缺陷。
半导体晶圆表面全域粗糙度偏差<5%。
耐酸碱:除氢氟酸和熔融强碱外,不与其他化学介质反应,避免抛光液污染。
高温稳定性:分解温度2700℃,适合超声波辅助高温抛光工艺。
应用优势:
与KOH/CMP抛光液兼容,不引入杂质离子(如Na⁺、Fe²⁺)。
光学玻璃抛光后无化学残留雾斑。
抗氧化:在潮湿或氧化环境中不生成表面氧化物(对比Al₂O₃易形成水合层)。
抗电解腐蚀:适用于电化学抛光(ECP)工艺,避免晶圆表面点蚀。
应用优势:
海洋光纤器件抛光后仍保持长期耐盐雾性能。
延长抛光垫使用寿命(减少腐蚀性磨损)。
晶体结构:六方晶系SiC破碎后形成棱角状切削刃,自锐性强。
微观形貌:扫描电镜(SEM)显示颗粒边缘锐利度>80°,切削效率比球形SiO₂高40%。
应用优势:
光纤预制棒研磨速率达0.5μm/min(传统材料仅0.2μm/min)。
减少亚表面损伤层(SSD<100nm),提升玻璃抗弯强度。
| 性能 | 绿碳化硅GC4000# | 氧化铈(CeO₂) | 金刚石微粉 |
|---|---|---|---|
| 硬度 | 9.5 | 6.0 | 10.0 |
| 成本 | 中 | 低 | 极高 |
| 表面粗糙度 | Ra≤0.01μm | Ra≤0.02μm | Ra≤0.005μm |
| 适用材料 | 硬脆玻璃/晶体 | 软质光学玻璃 | 超硬材料 |
绿碳化硅GC4000#通过高硬度、粒度均一性及化学稳定性的协同作用,在电子光纤玻璃抛光中实现:
✅ 高效率(减少50%加工时间)
✅ 高精度(纳米级表面完整性)
✅ 低污染(化学兼容性广)
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