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晶圆抛光用平板状氧化铝

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晶圆抛光用平板状氧化铝
 
片状氧化铝又称为平板状氧化铝,因其颗粒晶型为鳞片/平板形状而得名。片状氧化铝晶型为α-Al2O3,具有很高的硬度和研磨性能。在电子行业的打磨抛光对表面的精细度要求高,为保证精细的研磨效果和成品率,晶体形状为尖角状的磨料已经不能满足要求。片状/平板状氧化铝的磨粒表面平整光滑,颗粒的径厚比可以通过调整合成方法进行调节。研磨半导体晶片或其他微电子元件时不易产生划伤,大大提高了晶片的合格品率。片状氧化铝的生产采用高温烧结的方法,促使晶体进行横向生长,并形成具有片状结构的规则六角型粉体。水洗分选工艺的片状氧化铝粒度集中度高,有利于研磨表面的一致性。
 
 
CHEMICAL COMPOSITION/化学成分:
Item Guarantee Value/保证值(%) Typical Value/典型值(%)
Al2O3 ≥99.0 99.45
Fe2O3 ≤0.10 0.03
SiO2 ≤0.20 0.08
Na2O ≤1.0 0.22
 
PHYSICAL PROPERTIES/物理指标:
Specific Weight/比重 Hardness/硬度 Crystal Phase/晶相 Crystal Shape/晶体形状
3.90 g/ cm3 9.0Mohs scale α- Al2O3 平板状/Tabulated
 
PARTICLE SIZE DISTRIBUTION/粒度分布:
SPEC./规格 D3(um) D50(um) D94(um)
HXTA45 50.5-56.2 33-38.5 20.7-24.5
HXTA40 39-44.6 27.7-31.7 18-20
HXTA35 35.4-39.8 23.8-27.2 15-17
HXTA30 28.1-32.3 19.2-22.3 13.4-15.6
HXTA25 24.4-28.2 16.1-18.7 9.6-11.2
HXTA20 20.9-24.1 13.1-15.3 8.2-9.8
HXTA15 14.8-17.2 9.4-11 5.8-6.8
HXTA12 11.8-13.8 7.6-8.8 4.5-5.3
HXTA09 8.9-10.5 5.9-6.9 3.3-3.9
HXTA05 6.6-7.8 4.3-5.1 2.55-3.05
HXTA03 4.8-5.6 2.8-3.4 1.5-2.1
 
 
APPLICATIONS/应用场景:
l Semiconductor industry: Grinding and polishing of single crystal silicon wafers, siliceous wafers, piezoelectric quartz crystals, and compound semiconductors (gallium arsenide, indium phosphide). / 半导体行业: 单晶硅片、硅质晶圆、压电石英晶体、化合物半导体(砷化镓、磷化铟)的研磨抛光。
l Glass industry: Grinding and processing of crystal, quartz glass, picture tube glass screen, optical glass, LCD glass substrate, and piezoelectric quartz crystals./ 玻璃行业: 水晶,石英玻璃,显象管玻壳屏,光学玻璃,液晶显示器(LCD)玻璃基板,压电石英晶体的研磨加工。
l Coating industry: Special coatings and plasma spraying fillers. / 涂附行业: 特种涂料和等离子喷涂的填充剂。
l Metal and ceramic processing industry: precision ceramic materials, sintered ceramic raw materials, high-end high-temperature coatings, etc. / 金属和陶瓷加工业: 精密陶瓷材料,烧结陶瓷原料,高档高温涂料等。
PACKAGE/包装
10kgs/Bag+20kgs/Carton+1Ton/Pallet / 10公斤小袋+20公斤纸箱+1吨托盘
 
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